プラズマ励起MO-CVD法によるスピネル型酸化鉄(100)完全配向膜の生成

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概要

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• Thin films of spinel-type iron oxides with (100) orientation were prepared from Ferrocene as a starting material by Plasma assisted CVD. The X-ray diffraction patterns of the films showed that the (100) orientation was dependent on both the flow rate ratio of Ferrocene to Oxygen and the total gas pressure, but independent on Plasma RF power and substrates (Si(111), Si(100), Glass, saphire(012), saphire(001) and Polyimide film).

• 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文

著者

• 藤井 映志

  松下電器産業(株)先端技術研究所 ナノテクノロジー研究所

• 鳥井 秀雄

  映像デバイス開発センター

• 青木 正樹

  松下電器産業 開研

• 藤井 映志

  松下電気産業(株)開発研究所

• 鳥井 秀雄

  松下電気産業(株)開発研究所

• 青木 正樹

  松下電気産業(株)開発研究所

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