プラズマMOCVD法によるCoフェライト膜およびCoフェライト/Znフェライト二層膜の微細構造
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概要
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Cox Fe<SUB>a-x</SUB>O<SUB>4</SUB> (0. 1≤×≤1.0) films and a Co<SUB>0.1</SUB>Fe<SUB>2.9</SUB> O<SUB>4</SUB>/Zn<SUB>0.5</SUB>Fe<SUB>2.5</SUB>O<SUB>4</SUB> double layered film were prepared on soda-lime glass substrate (a=87×10<SUP>-7</SUP>/deg) by plasma enhanced MOCVD and their microstructures and magnetic properties were studied. The Co ferrite films consisted of a random orientated initial layer (thickness < 100 nm) and an <100> orientated columnar layer. Conversion electron Mossbauer spectra and magnetization curves of the films indicated that the films had an easy axis perpendicular to the film plane. The Co ferrite film with higly perpendicular magnetic anisotropy could be obtained by using Zn ferrite film (thickness:210 nm) as a buffer layer between the Co ferrite film and the substrate.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
著者
-
藤井 達生
岡山大学工学部精密応用化学科
-
藤井 映志
松下電器産業(株)先端技術研究所 ナノテクノロジー研究所
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鳥井 秀雄
松下電器産業(株)生活環境システム開発センター
-
井上 嘉
西東京科学大学
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服部 益三
松下電器産業(株)材料部品研究所
-
栗林 清
西東京科学大学理工学部物質工学科
-
藤井 達生
岡山大学工学部
-
鳥井 秀雄
松下電器産業(株)材料部品研究所
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藤井 映志
松下電器産業(株)材料部品研究所
-
井上 嘉
西東京科学大学理工学部物質工学科
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