プラズマ励起MO-CVD法による酸化鉄簿膜の生成
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概要
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Thin films of spinel-type iron oxides (Fe<SUP>3</SUP>O<SUP>4</SUP>-γ-Fe<SUP>2</SUP>O<SUP>3</SUP> compounds), α-Fe<SUP>2</SUP>O<SUP>3</SUP>, and β-Fe<SUP>2</SUP>O<SUP>3</SUP> were prepared by plasma assisted chemical vapor deposition from mixed gas containing Fe(C<SUP>5</SUP>H<SUP>7</SUP>O<SUP>2</SUP>)3 and O<SUP>2</SUP> at 250-350°C. The spinel-type oxide films were obtained under conditions of low O<SUP>2</SUP>/Fe(C<SUP>5</SUP>H<SUP>7</SUP>O<SUP>2</SUP>)<SUP>3</SUP> mol ratio. But, α-Fe<SUP>2</SUP>O<SUP>3</SUP> or β-Fe<SUP>2</SUP>O<SUP>3</SUP> films were prepared under high O<SUP>2</SUP>/Fe(C<SUP>5</SUP>H<SUP>7</SUP>O<SUP>2</SUP>)<SUP>3</SUP> mol ratio. α-Fe<SUP>2</SUP>O<SUP>3</SUP> and β-Fe<SUP>2</SUP>O<SUP>3</SUP> were inclined to be formed as single phase at the temperature above and below 300°C, respectively. The spinel-type oxide films tended to be formed as (100) preferred orientated film irrespective of kinds of substrate.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
著者
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藤井 映志
松下電器産業(株)先端技術研究所 ナノテクノロジー研究所
-
鳥井 秀雄
映像デバイス開発センター
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鳥井 秀雄
松下電器産業(株)生活環境システム開発センター
-
青木 正樹
松下電器産業 開研
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藤井 映志
松下電器産業(株)無線研究所
-
鳥井 秀雄
松下電器産業(株)材料部品研究所
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青木 正樹
松下電器産業(株)無線研究所
-
青木 正樹
松下電器産業 (株) 無線研究所
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