硬X線用1次元フレネルゾーンプレートの作製
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概要
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A one-dimensional multilayer Fresnel zone plate (1D-FZP) is capable to be an optical element for the micro X-ray computer tomography imaging with high spatial resolution. We developed the 1D-FZP with sputtered-sliced method. The 1D-FZP composes of high-Z (Cu) layer and low-Z (Al) layer, alternately. In this study, we fabricated the Cu/Al multilayer on a Si substrate at room temperature and 200°C, respectively. The smooth section of both multilayer was observed with scanning electron microscope.
- 日本真空協会の論文
- 2007-03-20
著者
-
田村 繁治
産業技術総合研究所
-
鈴木 芳生
高輝度光科学研究センター SPring-8
-
竹内 晃久
高輝度光科学研究センター SPring-8
-
上杉 健太朗
高輝度光科学研究センター/SPring-8
-
田村 繁治
(独)産業技術総合研究所光技術研究部門
-
安本 正人
産業技術総合研究所
-
鈴木 芳生
(財)高輝度光科学研究センター
-
鈴木 芳生
(株)日立製作所中央研究所
-
鈴木 芳生
Spring-8 財団法人高輝度光科学研究センター
-
上杉 健太朗
高輝度光科学研究センター
-
上杉 健太朗
高輝度光科学研究セ
-
上條 長生
関西医科大学
-
竹内 晃久
Jasri/spring-8
-
安本 正人
(独)産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
上杉 健太朗
高輝度光科学研
-
竹内 晃久
高輝度光科学研究センター
-
鈴木 芳生
高輝度光科学研究セ
-
鈴木 芳生
株式会社日立製作所情報・通信システム社経営戦略室
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