直流マグネトロンスパッタリング法による多層膜フレネルゾーンプレートの作製 - スリットによる界面の平滑化効果 -
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概要
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- 2001-03-20
著者
-
鈴木 芳生
高輝度光科学研究センター SPring-8
-
竹内 晃久
高輝度光科学研究センター SPring-8
-
田村 繁治
(独)産業技術総合研究所光技術研究部門
-
淡路 晃弘
高輝度光科学研究センター
-
竹内 晃久
(財)高輝度光科学研究センター
-
鈴木 芳生
(財)高輝度光科学研究センター
-
鈴木 芳生
Spring-8 財団法人高輝度光科学研究センター
-
上條 長生
関西医科大学
-
淡路 晃弘
(財)高輝度光科学研究センター
-
高野 秀和
(財)高輝度光科学研究センター
-
竹内 晃久
Jasri/spring-8
-
安本 正人
(独)産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
高野 秀和
兵庫県立大学物質理学研究科
-
高野 秀和
Jasri/spring-8
-
田村 繁治
経済産業省産業技術総合研究所/(財)高輝度光科学研究センター
-
安本 正人
経済産業省産業技術総合研究所
-
上條 長生
(財)高輝度光科学研究センター/関西医科大学
-
田村 繁治
経済産業省産業技術総合研究所(旧工業技術院)大阪工業技術研究所
-
上條 長生
(財)高輝度光科学研究センター(SPring-8)
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