硬X線積層型ゾーンプレート用材料の検討
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
X線集光素子であるゾーンプレート(ZP)を多層膜成膜技術を利用して作製する方法が注目されている.本論文では,3種類の異なる同心円多層膜を作製し,界面の平滑性,ZPに加工後の表面の形状精度について検討した.また,ZP(30層)も作製した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-11-25
著者
-
田村 繁治
(独)産業技術総合研究所光技術研究部門
-
大谷 和男
大阪工業技術研究所
-
大谷 和男
工業技術院大阪工業技術研究所
-
上條 長生
関西医科大学
-
田村 繁治
工業技術院大阪工業技術研究所
-
上條 長生
工業技術院大阪工業技術研究所
関連論文
- EEM による非球面レンズの加工
- EMM(Elastic Emission Machining)における表面原子除去過程の第一原理分子動力学シミュレーション
- 超清浄数値制御EEM(Elastic Emission Machining)の開発(第2報) -ノズル噴射流れを利用した加工ヘッドの開発-
- 超清浄数値制御EEM(Elastic Emission Machining)の開発(第1報) -超純水静圧軸受けを用いた数値制御ステージシステムの開発-
- Elastic Emission Machiningによる石英の非球面加工
- NC非球面レンズ研磨機の開発
- スモ-ル・ツ-ルによる研摩過程のコンピュ-タ・シミュレ-ション
- 超音波画像のディジタル画像処理
- 超音波診断装置の現状と問題点
- 高輝度放射光 X 線用多層膜フレネルゾーンプレートの開発
- マルチビーム薄膜形成装置の開発
- スパッタアシストプラズマCVD法により作製されたPbTiO_3薄膜の配向性
- 同心円多層膜のX線光学系への応用
- 多層膜構造を用いたX線集光素子と応用
- 硬X線用1次元フレネルゾーンプレートの作製
- 階段状構造を有するX線用多層膜レンズの開発
- 硬X線のマイクロビームの生成と利用
- 直流マグネトロンスパッタリング法による多層膜フレネルゾーンプレートの作製 - スリットによる界面の平滑化効果 -
- Cu/Al積層型フレネルゾーンプレートの作製と評価
- 積層型ゾーンプレートによるX線マイクロビームの形成
- X線用積層型Ag/Cゾーンプレートの製作
- 積層型X線ゾ-ンプレ-ト用蒸着材料に関する考察
- 硬X線積層型ゾーンプレート用材料の検討
- 硬X線用積層型ゾーンプレートの作製に関する考察
- ゾ-ンプレ-トの作製に関する最近の研究動向
- 光励起化学蒸着法によるSnO_2の成膜 : 紫外光の照射効果
- パルスレーザー堆積法によるPbTiO_3成膜におけるターゲットの影響
- マグネトロンスパッタ法で形成したTa_2O_5光学薄膜の力学的性質
- スパッタリング法による高輝度X線用多層膜レンズの開発
- 多元蒸着法による酸化物強誘電体薄膜の高速合成
- 表面粗さ1.6Aの超平滑な炭化ケイ素表面創成技術開発 (特集 炭化ケイ素の動向)
- プラズマCVD法による多孔質ガラスへの窒化チタンの被覆
- プラズマCVD法により作製した窒化チタン膜の摩擦摩耗特性
- サマリー・アブストラクト
- 同心円多層膜のX線光学系への応用