プラズマCVD法により作製した窒化チタン膜の摩擦摩耗特性
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概要
著者
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田村 繁治
産業技術総合研究所光技術研究部門(関西センター)
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田村 繁治
工業技術院大阪工業技術研究所
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山田 実
吉田工業株式会社
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真壁 遼治
工業技術院大阪工業技術試験所
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石田 正
工業技術院大阪工業技術試験所
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木村 三郎
工業技術院大阪工業技術試験所
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田村 繁治
工業技術院大阪工業技術試験所
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