プラズマCVD法によるTiC/硬質カーボン複層膜の作製

スポンサーリンク

概要

• 論文の詳細を見る
• 日本真空協会の論文
• 1992-03-20

著者

• 矢木 与志正

  吉田工業株式会社

• 河村 新吾

  吉田工業株式会社

• 山田 実

  吉田工業株式会社

関連論文

• TiNi合金のマルテンサイト変態に及ぼすPd添加の影響
• プラズマCVD法によるTiC/硬質カーボン複層膜の作製
• プラズマCVD法により作製した窒化チタン膜の摩擦摩耗特性
• プラズマCVD法による窒化チタン膜形成 (II)

スポンサーリンク