マグネトロンスパッタ法で形成したTa_2O_5光学薄膜の力学的性質
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概要
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- 1997-03-20
著者
-
藤田 尚徳
大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
-
吉田 國雄
大阪工業大学工学部
-
吉田 國雄
Entropia レーザー Initiative
-
田村 繁治
(独)産業技術総合研究所光技術研究部門
-
田村 繁治
産業技術総合研究所光技術研究部門(関西センター)
-
吉田 英次
大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
-
田村 繁治
大阪工業技術研究所
-
吉田 国雄
大阪大学レーザー核融合研究センター
-
神村 共住
大阪大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
神村 共住
大阪工業大学電子情報通信工学科
-
砂川 道夫
新明和工業(株)開発セ
-
越智 完好
大阪工業大学
-
谷 二三夫
新明和工業(株)
-
加納 元
大阪工業大学工学部
-
越智 完好
大阪工業大学工学部
-
谷 二三夫
新明和工業(株)開発セ
-
吉田 国雄
大阪工業大学工学部電子工学科
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