多層膜構造を用いたX線集光素子と応用
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概要
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The X-ray lens is a key technology for the X-ray microscopy at synchrotron radiation (SR) facility. Various types of the focusing optics (lens) for high-energy X-rays have been developed up to now. A multilayer Fresnel zone plate (FZP), which consists of periodic multilayer structure, is one of promising optics. In this review paper, firstly the recent status of various focusing optics for high-energy SR X-rays is described. And next, some of our representative results of the multilayer FZP with high diffraction efficiency and the X-ray microscopic image are shown.
- 日本真空協会の論文
- 2009-04-20
著者
-
鈴木 芳生
高輝度光科学研究センター SPring-8
-
竹内 晃久
高輝度光科学研究センター SPring-8
-
田村 繁治
(独)産業技術総合研究所光技術研究部門
-
竹内 晃久
(財)高輝度光科学研究センター
-
安本 正人
(独)産業技術総合研究所 計測フロンティア研究部門
-
鈴木 芳生
(財)高輝度光科学研究センター
-
鈴木 芳生
(株)日立製作所中央研究所
-
鈴木 芳生
Jasri
-
鈴木 芳生
Spring-8 財団法人高輝度光科学研究センター
-
上條 長生
関西医科大学
-
竹内 晃久
Jasri/spring-8
-
安本 正人
(独)産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
-
鈴木 芳生
株式会社日立製作所情報・通信システム社経営戦略室
-
鈴木 芳夫
高輝度光科学研究センター
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