テトラフルオロエチルトリフルオロメチルエーテル(HFE 227)への有機シラン添加による高選択比・高アスペクト比酸化膜エッチング
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概要
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- 1998-08-20
著者
-
堀池 靖浩
物質･材料研究機構
-
進藤 春雄
東海大学工学部応用物理学科
-
堀池 靖浩
東洋大学工学部
-
一木 隆範
東洋大学・工
-
進藤 春雄
東海大 工
-
小澤 正則
東洋大学工学部電気電子工学科
-
鎮西 康彦
東洋大学工学部電気電子工学科
-
菊池 俊秋
東洋大学工学部電気電子工学科
-
堀岡 啓治
AMJ株式会社
-
一木 隆範
東洋大学工学部電気電子工学科
-
Horiike Yasuhiro
Faculty Of Engineering Toyo University
-
Horiike Yasuhiro
National Institute For Materials Science
-
Horiike Yasuhiro
Toshiba Vlsi Research Center
-
Horiike Yasuhiro
Faculty Of Engineering Hiroshima University
-
Horiike Yasuhiro
Department Of Electrical Engineering Hiroshima University
-
Horiike Yasuhiro
Department Of Electrical Engineering Toyo University
-
一木 隆範
東洋大学工学部:科技団戦略的創造研究事業presto
-
堀池 靖浩
広島大工
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