3.計測とモデリング : 3.2負イオンとシース構造 : 負イオンを見直そう(<特集>負イオン特集)

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概要

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• In negative ion containing plasma, sheath characteristics are analyzed on a basis of fluid equations. The Bohm criterion voltage discontinuously decreases with an increase in negative ion density in a certain condition of low negative ion temperature. Corresponding to this decrease of the Bohm criterion voltage, sheath potential, hence floating potential rapidly decreases. The positive ion current linearly decreases as the ion density ratio of negative to positive is increased. It is also found that the sheath width increases with the negative ion density and that the Child-Langmuir's law still holds unless the ion density ratio of negative to positive is near unity. An experiment in inductively coupled Cl_2 plasma reveals that the behavior of the sheath width analysed is qualitatively correct.

• 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
• 1996-11-25

著者

• 進藤 春雄

  東海大学工学部応用物理学科

• 進藤 春雄

  東海大 工

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