5.大規模マイクロ波ラインプラズマの開発(<小特集>実用化プロセスにおけるプラズマ源の革新〜平行平板プラズマ源から新プラズマ源へ〜)

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概要

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• 本研究は近年急速に基板サイズの大面積化が進んでいるフラットパネルディスプレイ, 太陽電池パネルや各種フィルムの表面処理など大面積の基板を対象とするプロセス用プラズマ源として, 大規模マイクロ波ラインプラズマの発生技術を検討したものである.均一性の高いライン状プラズマをマイクロ波技術で実現し, 大面積プラズマプロセスに応用するものであり, 発生技術に関して原理的実証を行うとともに, 大規模マイクロ波ラインプラズマの生成技術をライン長1m, 2mについて装置開発の視点から実験的検討を行った.

• 2011-01-25

著者

• 進藤 春雄

  東海大学情報理工学部情報通信電子工学科

• 進藤 春雄

  東海大 工

• 進藤 春雄

  東海大学情報理工学部

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