高齢化社会の到来とヘルスケアチップの創製 : ドライエッチング技術の展開
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 一般社団法人 表面技術協会の論文
- 2004-06-01
著者
-
高村 禅
北陸先端科学技術大学院大学マテリアルサイエンス研究科
-
高村 禅
北陸先端科学技術大学院大学
-
高井 まどか
東京大学大学院工学系研究科マテリアル工学専攻
-
堀池 靖浩
物質･材料研究機構
-
高村 禅
北陸先端大
-
堀池 靖浩
物質・材料研究機構
-
堀池 靖浩
科学技術振興事業団戦略的基礎研究推進事業 科学技術振興事業団
-
堀池 靖浩
(独)物質・材料研究機構
-
沖 明男
(独)物質・材料研究機構
-
小川 洋輝
(独)物質・材料研究機構
-
百瀬 俊
ローム(株)
-
横川 昭徳
ローム(株)
-
高井 まどか
東大 大学院工学系研究科
-
Horiike Yasuhiro
Faculty Of Engineering Toyo University
-
Horiike Yasuhiro
National Institute For Materials Science
-
Horiike Yasuhiro
Toshiba Vlsi Research Center
-
Horiike Yasuhiro
Department Of Electrical & Electronics Engineering Tokyo University
-
Horiike Yasuhiro
Research Center For Integrated Systems Hiroshima University:(present Address)department Of Electrica
-
Horiike Yasuhiro
Department Of Materials Engineering School Of Engineering The University Of Tokyo
-
Horiike Yasuhiro
Department Of Materials Science University Of Tokyo
-
Horiike Yasuhiro
Faculty Of Engineering Hiroshima University
-
Horiike Yasuhiro
Department Of Electrical Engineering Hiroshima University
-
Horiike Yasuhiro
Department Of Electrical Engineering Toyo University
-
堀池 靖浩
広島大工
-
Horiike Yasuhiro
Department Of Materials Engineering The University Of Tokyo
-
Horiike Yasuhiro
Department Of Electrical And Electronics Engineering Toyo University:department Of Materials Science
-
Horiike Yasuhiro
Department Of Electrical & Electronics Engineering Toyo University
-
高井 まどか
東京大学大学院工学系研究科
関連論文
- 固相抽出/液体電極プラズマ発光分析法による土壌中の鉛の定量
- 2I14-3 複数の微生物を用いたリグノセルロース系バイオマスの糖化(分離・精製工学,資源・エネルギー工学,分類・系統・遺伝学,一般講演)
- 1B16-2 ナノリッターチャンバーアレイを用いた一細胞PCRと遺伝子検出(醸造学,醸造工学/センサー・計測工学,ロボット工学/生体情報工学(バイオインフォマティクス),一般講演)
- 3J09-5 GMO検出のためのマイクロフロー型PCRチップの開発(センサー・計測工学・ロボット工学,一般講演)
- 生体ヘテロ界面のナノスケール制御
- リン脂質ポリマーを用いたマイクロ流体デバイスのバイオインターフェイス制御
- ナノバイオ・インテグレーションマテリアル (特集 新しいナノバイオテクノロジーの進展(1))
- バイオデバイス表面のナノ精密創製 (特集 ナノ・マイクロ技術を用いたバイオデバイス)
- μTASのためのバイオインターフェイス構築 (特集 日本のバイオ系μTAS最新技術)
- 92)小口径人工血管の実用化への基礎研究(第200回日本循環器学会関東甲信越地方会)
- 新しい医療デバイスとしての自発生成型ハイドロゲル
- シリコン技術
- ラジアルラインスロットアンテナを用いた大口径均一プラズマの生成
- ラジアルラインスロットアンテナを用いたプラズマエッチング装置
- 3C13-3 フォトニック結晶材料を用いた免疫センサーの開発(酵素学・酵素工学・タンパク質工学,糖鎖工学,一般講演)
- ナノピラー構造体が電気浸透流に及ぼす影響の評価
- 極微量全血分離・分析を目指したヘルスケアチップの創製
- Negative Ion Assisted Silicon Oxidation in Downstream of Microwave Plasma
- RF Selfbias Voltage and Sheath Width in Inductively Coupled Chlorine Plasma
- Microloading Effect in Highty Selective Si0_2 Contact Hole Etching Employing Inductively Coupled Plasma
- Effect of Magnetic Field to Etching Characteristics of Inductively Coupled Plasma ( Plasma Processing)
- High Rate and Highly Selective SiO_2 Etching Employing Inductively Coupled Plasma
- RF Self-Bias Characteristics in Inductively Coupled Plasma
- ナノポアを通過する長鎖DNAのイメージング解析 : DNAの核膜孔通過過程のモデリングを目指して
- 18pYF-11 マイクロ・ナノチップ中における長鎖DNAのダイナミクスの解析
- カーボンナノチューブフィールドエミッターのI-V特性と先端構造
- Gap-filling of Cu Employing Sustained Self-Sputtering with Inductively Coupled Plasma Ionization
- Enhancement of Negative-Ion-Assisted Silicon Oxidation by Radio-Frequency Bias
- Development and Plasma Characteristics Measurement of Planar-Type Magnetic Neutral Loop Discharge Etcher
- Highly Selective SiO_2/Si Etching and Related Kinetics in Time-Modulated Helicon Wave Plasma
- SiO_2 Etching Employing Inductively Coupled Plasma with Hot Inner Wall
- Mechanism of Cloudy Surface Generation on Si Wafer Employing Numerically Controlled Local Dry Etching (NC-LDE)
- Concentration and Injection of Long Deoxyribonucleic Acid Molecules at the Interface of Micro- and Nano-channels
- Fluorescence Emission Control of Long DNA Molecules Adsorbed on microelectrode Surfaces by External Voltage
- Molecular Detection in a Microfluidic Device by Streaming Current Measurements
- Translocation of a Long DNA Chain Passing Through a Nanofabricated Pore
- Study on Elemental Technologies for Creation of Healthcare Chip Fabricated on Polyethylene Terephthalate Plate
- 水素+水蒸気プラズマダウンフローへのNF_3添加によるシリコン表面の自然酸化膜除去
- テトラフルオロエチルトリフルオロメチルエーテル(HFE 227)への有機シラン添加による高選択比・高アスペクト比酸化膜エッチング
- Fabrication and Evaluation of Three-Dimensional Optically Coupled Common Memory
- 3H10-4 マイクロフローチップを用いた DNA 増幅反応の検出
- 超小型元素分析装置の開発
- 人工細胞膜を構築するPCサーフェイステクノロジー
- 人口細胞膜表面を構築するPCサーフェイステクノロジーの新しい応用
- 多項目同時測定ヘルスケアチップ用マイクログルコースセンサーの創製
- Cleaning of Silicon Surfaces by NF_3 Added Hydrogen and Water Vapor Plasma Downstream Treatment
- 2.4GHzフロントエンドAlN/α-Al_2O_3 SAWマッチトフィルタ
- 微細加工を駆使した高機能バイオチップの開発
- 平成17年度リフレッシュ理科教室(北陸・信越支部石川会場)開催報告
- 高機能・高集積化を目指したバイオチップ技術(ナノバイオテクノロジー)
- 高機能・高集積化を目指したバイオチップ技術
- 高齢化社会の到来とヘルスケアチップの創製 : ドライエッチング技術の展開
- Biochip Which Examines Hepatic Function by Employing Colorimetric Method
- 日々の健康管理 -ヘルスケアデバイスの創製-
- 高感度分子認識バイオチップにおけるバイオインターフェイス創製
- プラズマプロセスによるバイオチップの開発と展望
- 大気圧マイクロプラズマジェットの微細加工への応用
- VHF駆動によるマイクロプラズマの生成技術とマイクロ化学分析システムへの応用
- 高アスペクト比ULSIエッチング技術
- 5.最近のトピックス : 5.2フッ素,塩素負イオン生成とSi,SiO_2とのエッチング反応 : 負イオンを見直そう(負イオン特集)
- An atmospheric-pressure microplasma jet source for the optical emission spectroscopic analysis of liquid sample
- Localized and ultrahigh-rate etching of silicon wafers using atmospheric-pressure microplasma jets
- Etching Reactivity of Negative Ions Generated in Cl_2 Downstream Plasma
- Electron Energy Control in Inductively Coupled Plasma Employing Multimode Antenna
- Thin Film Detection Employing Frequency Shift in Sheath Current Oscillation
- Excitation of Sheath Oscillating Current by Superimposing Pulse Voltage
- Fabrication of Quartz Microcapillary Electrophoresis Chips Using Plasma Etching
- Gap-Filling of Cu Employing Self-Sustained Sputtering with ICP Ionization
- micro TAS 2003, the 7th International Conference on Micro Total Analysis Systems 参加報告記
- 負イオンプラズマによるシリコンエッチング
- 4. 高密度RFプラズマによる高速・高選択比SiO_2エッチングと反応機構 (ドライエッチング用プラズマ)
- Silicon Etching Employing Negative Ion in SF_6 Plasma
- Localized Removal of a Photoresist by Atmospheric Pressure Micro-plasma Jet Using RF Corona Discharge
- 容量結合型大気圧マイクロプラズマ源
- 医療
- Development of Clinical Chips for Home Medical Diagnostics
- 在宅で健康診断できるヘルスケアチップの開発 (特集 診断バイオチップの未来)
- μ-TAS応用によるバイオセンサ式ヘルスケアチップ (特集 流体MEMSのすべて--マイクロ流体デバイスの応用展開とその実用化)
- 産学独連携により2009年115WのEUV光源を実現
- 無痛針採血による在宅健康診断チップ
- 医療用バイオチップの現状と将来展望
- B-5-145 in vivoワイヤレス通信チップ用送受信回路に関する研究(B-5.無線通信システムA(移動通信))
- B-1-16 in vivo ワイヤレス通信チップ用アンテナに関する研究 : 電磁波の人体透過特性
- 有機イオン会合体抽出多元素濃縮/液体電極プラズマ発光分析法による水中の微量重金属の同時定量
- マイクロバイオセンサーにおける生体適合性マテリアル (特集 最先端バイオ医療における生体適合性マテリアル) -- (マイクロ医療)
- マイクロ流体デバイスにおける生体適合化 (特集 最先端バイオ医療における生体適合性マテリアル) -- (マイクロ医療)
- Resistance Oscillations Induced by Direct Current Electromigration
- Miniaturized Capillary Electrophoresis Fabricated on Pyrex Glass Chips Using Deep Dry Etching and Anodic Bonding
- 新しい装置創りから未知なるものの発見
- ULSI高アスペクト比SiO_2エッチング技術の現状と展望
- 有機イオン会合体抽出多元素濃縮/液体電極プラズマ発光分析法による水中の微量重金属の同時定量
- ナノ構造体を用いた無標識検出
- 表面反応研究のより一層の促進を
- 高密度プラズマによるエッチングプロセス(最新のプラズマプロセス技術)
- Electromigration Characteristics of Cu-Al Precipitate in AlCu Interconnection
- バイオデバイス創製のための機能性ナノインターフェイス (特集 バイオ関連材料と技術の最近の話題)
- 高感度血液分析チップのためのバイオ界面創製
- タンパク質吸着/非吸着をナノレベルで制御したバイオインターフェースへの細胞接着挙動
- 生体親和性高分子表面の構築による界面水の役割
- マイクロ流路を用いた細胞・生体分子の制御と検出