高周波-直流結合形マグネトロンスパッタ法におけるAr^+及びCu^+イオンのエネルギー分布
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概要
著者
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川畑 敬志
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
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大西 学
広島工業大学工学部電子工学科
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梶岡 秀
広島県立西部工業技術センター
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熊渕 善太
広島工業大学工学部電子・光システム工学科
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宮本 嗣久
広島工業大学工学部電子工学科
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山縣 悠
広島工業大学工学部電子工学科
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