UVナノインプリントによって形成したナノチャンネルFIELO法による低転位GaNテンプレート基板作製の研究(有機デバイス・酸化物デバイス・一般)
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概要
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UVナノインプリント技術によって形成するナノチャンネルFIELO法を提案し、サファイア基板上のGaN結晶において、膜厚20um以下で5×10^7/cm^2以下の転位密度を実現できることを確認した。
- 一般社団法人電子情報通信学会の論文
- 2013-04-11
著者
-
庄子 習一
早稲田大学
-
後藤 裕輝
古河機械金属株式会社ナイトライド事業室
-
水野 潤
早稲田大学ナノ理工学研究機構
-
山口 敦史
金沢工業大学 ものづくり研究所
-
碓井 彰
Nec光・超高周波デバイス研究所
-
碓井 彰
古河機械金属
-
松枝 敏晴
古河機械金属 ナイトライド事業室
-
砂川 晴夫
古河機械金属 ナイトライド事業室
-
水野 潤
早稲田大学
-
山口 敦史
金沢工業大学工学部
-
岡田 愛姫子
早稲田大学ナノ理工学専攻
-
篠原 秀敏
東芝機械株式会社
-
西原 浩巳
東芝機械株式会社
-
後藤 博史
東芝機械株式会社
-
庄子 習一
早稲田大学ナノ理工学専攻
-
砂川 晴夫
古河機械金属株式会社
-
後藤 裕輝
古河機械金属株式会社
-
松枝 敏晴
古河機械金属株式会社
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