顕微反射スペクトル測定によるGaN基板残留歪みの精密マッピング測定(窒化物半導体光・電子デバイス・材料,関連技術,及び一般)
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概要
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GaN基板に残留する微小歪み(0.01%程度)をミクロンオーダーの空間分解能で測定する新しい手法を開発した。これは、価電子帯の各バンドに対応する励起子のエネルギー位置が歪みに対して非常に敏感であることを利用し、顕微鏡下での極低温反射スペクトル測定から得られる励起子エネルギーより歪み量の各成分を求めるものである。この手法により、異なる方法で作製されたGaN基板の断面の残留歪みの深さ方向分布を測定し、基板の作製方法により残留歪みの状況が変わることを見出した。さらに、反射スペクトルにおける励起子信号の線幅がキャリア密度によって変化することを用いて、歪み量とキャリア濃度を同時に2次元マッピング測定する可能性についても議論する。
- 2011-11-10
著者
-
山口 敦史
金沢工業大学 ものづくり研究所
-
石原 裕次郎
古河機械金属
-
松枝 敏晴
古河機械金属(株)半導体装置事業室
-
砂川 晴夫
古河機械金属(株)半導体装置事業室
-
松枝 敏晴
古河機械金属株式会社ナイトライド事業室
-
碓井 彰
Nec光・超高周波デバイス研究所
-
碓井 彰
古河機械金属
-
山口 敦史
金沢工大 ものづくり研
-
耿 慧遠
古河機械金属(株)素材総合研究所
-
砂川 晴夫
古河機械金属株式会社研究開発本部ナイトライド事業室
-
耿 慧遠
古河機械金属株式会社研究開発本部ナイトライド事業室
-
碓井 彰
古河機械金属株式会社研究開発本部ナイトライド事業室
-
石原 裕次郎
古河機械金属ナイトライド事業室
-
松枝 敏晴
古河機械金属 ナイトライド事業室
-
砂川 晴夫
古河機械金属 ナイトライド事業室
-
耿 慧遠
古河機械金属 ナイトライド事業室
-
松枝 敏晴
古河機械金属株式会社
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