21世紀を切り開く機能性単結晶の基礎と応用(第8回)HVPE法を用いたGaN単結晶の育成
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概要
著者
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石原 裕次郎
古河機械金属
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碓井 彰
Nec光・超高周波デバイス研究所
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砂川 晴夫
古河機械金属株式会社研究開発本部ナイトライド事業室
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碓井 彰
古河機械金属株式会社研究開発本部ナイトライド事業室
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石原 裕次郎
古河機械金属ナイトライド事業室
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