顕微反射スペクトル測定によるGaN基板残留歪みの精密マッピング測定
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概要
- 論文の詳細を見る
- 2011-11-10
著者
-
山口 敦史
金沢工業大学 ものづくり研究所
-
石原 裕次郎
古河機械金属
-
碓井 彰
古河機械金属
-
耿 慧遠
古河機械金属(株)素材総合研究所
-
松枝 敏晴
古河機械金属 ナイトライド事業室
-
砂川 晴夫
古河機械金属 ナイトライド事業室
-
耿 慧遠
古河機械金属 ナイトライド事業室
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