ハイドライド気相成長法による高品質GaN結晶の育成
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概要
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- 2011-06-20
著者
-
山本 一富
古河機械金属(株)日野研究所
-
山口 敦史
金沢工業大学 ものづくり研究所
-
砂川 晴夫
古河機械金属(株)半導体装置事業室
-
碓井 彰
Nec光・超高周波デバイス研究所
-
碓井 彰
古河機械金属
-
山口 敦史
金沢工大 ものづくり研
-
耿 慧遠
古河機械金属(株)素材総合研究所
-
砂川 晴夫
古河機械金属株式会社研究開発本部ナイトライド事業室
-
耿 慧遠
古河機械金属株式会社研究開発本部ナイトライド事業室
-
碓井 彰
古河機械金属株式会社研究開発本部ナイトライド事業室
-
鷲見 紀彦
古河機械金属株式会社研究開発本部ナイトライド事業室
-
砂川 晴夫
古河機械金属 ナイトライド事業室
-
耿 慧遠
古河機械金属 ナイトライド事業室
-
山本 一富
古河機械金属株式会社研究開発本部ナイトライド事業室
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