ナノインプリントを用いたポリマー導波路型波長フィルターの作製と評価(量子効果デバイス(光信号処理、LD、光増幅、変調等)と集積化技術、一般「材料デバイスサマーミーティング」)
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概要
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我々はコア材料にSU-8、クラッド材料にPMGIとし、ポリマー導波路型波長フィルターを作製、そして、その特性評価を行った。素子作製の際、3次元モールドを用い、一括ナノインプリントを用いることでナノ構造を有するグレーティング部分とマイクロ構造を有する導波路部分を一度に作製した。その結果、偏光無依存、1570nm帯域においてコントラスト-40dBの素子が実現された。また、結合損失を含む挿入損失が12dBであることが確認された。
- 2010-06-18
著者
-
水野 潤
早稲田大学理工学術院ナノ理工学専攻
-
宇高 勝之
早稲田大学理工学部
-
宇高 勝之
早稲田大学理工学術院
-
謝 楠
早稲田大学理工学術院
-
宇高 勝之
早稲田大学大学院理工学研究科
-
橋本 隆文
早稲田大学理工学術院
-
森 弘明
早稲田大学理工学術院
-
立崎 卓也
早稲田大学理工学術院
-
水野 潤
早稲田大学ナノ理工学研究機構
-
水野 潤
早稲田大学ナノテクノロジー研究所
-
水野 潤
早稲田大学 ナノ理工学研究機構
-
宇高 勝之
早稲田大学
-
立崎 卓也
早稲田大学
-
水野 潤
早稲田大学
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