深堀エッチングによるシリコン導波路上ブラッググレーティングのフィルタ特性改善

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概要

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• 2009-01-30

著者

• 宇高 勝之

  早稲田大学理工学術院

• 松井 純哉

  早稲田大学理工学術院

• 高橋 洋樹

  早稲田大学理工学術院

• 謝 楠

  早稲田大学理工学術院

• 宇高 勝之

  早稲田大学大学院理工学研究科

• 宇高 勝之

  早稲田大学

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