フッ素樹脂被覆PDMSマイクロ構造体形成に関する研究
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概要
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PDMS microstructures whose whole inner surfaces are covered with perfluoro polymer are described. The major problems of PDMS microfluidic devices in Micro Total Analysis Systems (μTAS) applications are surface degradation with organic solvents and unexpected adsorption of chemical materials. In order to overcome these problems, perfluoro amorphous polymer is coated on the PDMS micro structures. This method is useful to realize chemical durability of the PDMS microfluidic devices. And novel method for fabricating metal electrodes on the perfluoro polymer is also proposed.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2004-10-01
著者
-
庄子 習一
早稲田大学
-
庄子 習一
早大理工
-
叶井 正樹
早稲田大学大学院理工学研究科ナノ理工学専攻
-
庄子 習一
早稲田大学基幹理工学部電子光システム学科
-
庄子 習一
早稲田大学理工学術院ナノ理工学専攻
-
西本 尚弘
島津製作所
-
内田 大輔
早稲田大学理工学部
-
庄子 周一
早大理工
-
西本 尚弘
(株)島津製作所基盤技術研究所
-
西本 尚弘
(株)島津製作所
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