静電マイクロアクチュエータを用いたサブ波長格子可変カラーフィルタ(光材料・デバイス,結晶成長,評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,電子・光材料))
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
本研究では、可変構造をもつサブ波長格子の周期構造をMEMS技術により作製し、導波モード共鳴を制御できるNEMS(Nano Electro Mechanical System)可変カラーフィルタを提案した。サブ波長格子はSOI(Silicon on Insulator)基板上に製作しBOX(Buried Oxide)層を犠牲層としてエッチングすることで中空構造とした.製作した周期900nm、格子幅500nmのNEMS可変カラーフィルタに駆動電圧20Vを印加することで構造色変化を確認した。さらに低電圧駆動を目指し、3本の電極を基本ユニットとして配置したNEMS可変カラーフィルタを作製した。この構造においては、駆動電圧として6.7Vを印加すると可視光領域である680nmの反射スペクトルが34%減少した。よって低電圧で可視光領域の反射スペクトルに変化を与えることができる可変カラーフィルタを開発することに成功した。
- 2012-05-10
著者
-
澤田 和明
豊橋技術科学大学電気・電子工学系
-
石田 誠
豊橋技術科学大学
-
澤田 和明
Intelligent Sensing System Research Centor Toyohashi University Of Technology
-
澤田 和明
豊橋技術科学大学
-
高橋 一浩
豊橋技術科学大学
-
宮尾 肇
豊橋技術科学大学
-
澤田 和明
豊橋技科大
-
Sawada K
Shizuoka Univ. Hamamatsu
-
Ishida M
Intelligent Sensing System Research Centor Toyohashi University Of Technology
-
Ishida M
Univ. Tsukuba Tsukuba Jpn
-
本間 浩章
豊橋技術科学大学
関連論文
- プログレッシブ型pH・光融合イメージセンサの提案(立体撮像,高精細撮像,特殊撮像,および一般)
- 光・pH融合イメージセンサの提案と製作・評価(深い感性の喚起と情報センシング,高精細撮像,高感度及び一般)
- 1116 自動位置決めによる表面実装素子のウェハレベル搭載技術と無線駆動マイクロセンサデバイスへの適用(要旨講演,マイクロメカトロニクス)
- ポリイオン複合膜を用いたアセチルコリンイメージセンサ(高機能イメージセンシングとその応用)
- 無線駆動型Si-MEMSマイクロセンサに向けたCMOS安定化電源回路(アナログ,パワーインテグリティ,VLSI回路,デバイス技術(高速,低電圧,低消費電力))
- 無線駆動型Si-MEMSマイクロセンサに向けたCMOS安定化電源回路(アナログ,パワーインテグリティ, VLSI回路,デバイス技術(高速,低電圧,低消費電力))
- センサアレイと集積回路の融合によるバイオ・医療用スマートマイクロチップ(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
- アモルファスシリコンAPDを用いた広ダイナミックレンジ・イメージセンサ用回路の設計
- アモルファスシリコンAPDを用いた広ダイナミックレンジ・イメージセンサ用回路の設計(イメージセンサのインターフェース回路,アナログ,及び一般)
- SC-11-1 Si(111)CMOSにおけるMOSFET特性の改善(SC-11.新概念VLSI : 先進アーキテクチャ,新回路,デバイス技術)
- 微小Siプローブとの一体化に向けたSi(111)CMOS信号検出回路
- 微小Siプローブとの一体化に向けたSi(111)CMOS信号検出回路(アナログ・デジアナ・センサ,通信用LSI)
- マイクロチップ上へのSiプローブアレイ結晶成長と細胞電位測定応用(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
- Si集積回路技術を用いた小型水分量センサの製作
- イオンイメージセンサ上での神経細胞の培養系の確立
- C-12-48 滑り覚検知能を実現するシリコンMEMS触覚イメージャー(C-12.集積回路,一般セッション)
- C-12-72 SPICEを用いた流体集積回路の解析・設計技術(C-12.集積回路,一般セッション)
- 積層型マイクロ流路ミキサーを用いた多対少量混合
- マイクロチップ上へのSiプローブアレイ結晶成長と細胞電位測定応用(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
- 医療分野へ応用可能なpH・光マルチモーダルバイオイメージセンサの開発 (情報センシング)
- AT-1-1 社会の安全・安心にむけたユビキタス集積化マイクロセンサ技術(AT-1.安全・安心な生活のために:情報通信ネットワーク・回路・システム技術の挑戦,パネルセッションチュートリアルセッション,ソサイエティ企画)
- C-12-47 微小容量型センサアレイに向けた画素内集積型CV変換回路(C-12.集積回路,一般セッション)
- 電気伝導度センサと温度センサを含んだマルチモーダルセンサの製作
- 溶液前処理機構を集積化したインテリジェント吸光測定チップの開発
- LSI技術を用いた農業用ECセンサに関する研究
- シリコン基板上のエピタキシャル強誘電体薄膜と焦電型赤外線センサアレイへの応用(第6回赤外放射応用関連学会等年会)
- 二次元イオン分布イメージングシステムの開発
- 423 高密度集積化に適した表面加工型マイクロ流体集積回路の形成と評価(T09-1 微小機械システムにおけるマイクロ・ナノ力学(1) MEMSにおけるマイクロ・ナノ力学,大会テーマセッション,21世紀地球環境革命の機械工学:人・マイクロナノ・エネルギー・環境)
- LSI技術とセンサ技術の融合によるインテリジェントスマートマイクロチップ(マイクロ波信号発生と計測技術/一般)
- エピタキシャルPZT薄膜を用いた圧電型超音波トランスデューサアレイの製作
- 2120 流体アナログ集積回路の能動素子として機能する垂直加工型シリコンマイクロバルブの形成(要旨講演,一般セッション:マイクロナノメカトロニクス)
- Examination of absorptiometry microchip application aiming for particle-enhanced turbidimetric immunoassay (特集 インテリジェントバイオチップ)
- Technology and Applications of LSI-Integrated Microsensors
- Low-Noise Fully Differential Amplifiers Using JFET-CMOS Integration Technology for Smart Sensors
- Neo-Transmitter Using Pulse Width Modulation (PWM) Method for Wireless Smart Sensors
- 化学情報をノンラベルで可視化できる電荷転送型pHイメージセンサ
- 3321 埋め込み応用を目指したシリコンMEMS変形計測センサ(J26-4 マイクロメカトロニクス(4),J26 マイクロメカトロニクス)
- 生体情報センシングを目指した体着型マルチモーダルセンサの試作
- 医療分野へ応用可能なpH・光マルチモーダルバイオイメージセンサの開発(特別企画「CCD誕生40年記念講演〜普及拡大期〜」,イメージセンサ一般)
- 12-6 バンドオフセットを持つa-Si : H系傾斜フォトダイオード
- a-SiC:H/c-Siヘテロ接合バンドオフセットを利用したアバランシェフフォトダイオード
- pHイメージセンサの開発(イメージセンサ技術の最新動向)
- 1-05P-35 エピタキシャルPZT薄膜を用いた圧電型MEMSトランスデューサアレイの作製(ポスターセッション 1)
- 酸化膜還元法による極薄エピタキシャルγ-Al_2O_3膜の作製とデバイス応用(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
- 酸化膜還元法による極薄エピタキシヤルγ-Al_2O_3膜の作製とデバイス応用(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si, SiGe,その他の電子材料))
- 酸化膜還元法による極薄エピタキシャルγ-Al_2O_3膜の作製とデバイス応用(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si, SiGe,その他の電子材料))
- 酸化膜還元法による極薄エピタキシャルγ-Al_2O_3膜の作製とデバイス応用
- 酸化膜還元法による極薄エピタキシャルγ-Al_2O_3膜の作製とデバイス応用
- 赤外線カメラを利用した農業用非接触水分量センシング
- 雑音除去機構および温度調節機構を集積化した吸光度測定スマートセンサチップの製作と基礎特性の評価
- 温度調節機構を集積化したC反応性タンパク測定用マイクロチップの設計と製作
- 溶液前処理機構と光同期検出機構を集積化した血液分析用マイクロチップの作製(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si,SiGe,その他の電子材料))
- 溶液前処理機構と光同期検出機構を集積化した血液分析用マイクロチップの作製(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si, SiGe,その他の電子材料))
- 溶液前処理機構と光同期検出機構を集積化した血液分析用マイクロチップの作製(結晶成長評価及びデバイス(化合物,Si, SiGe,その他の電子材料))
- 溶液前処理機構と光同期検出機構を集積化した血液分析用マイクロチップの作製
- 溶液前処理機構と光同期検出機構を集積化した血液分析用マイクロチップの作製
- 希土類付活SrGa_2S_4蛍光体薄膜の発光特性
- CCDを用いたpH二次元分布の画像化
- CCDを用いたpH二次元分布の画像化
- 低雑音センサインターフェース回路に向けた JFET 混載 CMOS 技術
- CMOSとの集積化に適したJFET素子と低雑音増幅回路の形成(アナログ・デジアナ・センサ, 通信用LSI)
- CMOSとの集積化に適したJFET素子と低雑音増幅回路の形成
- センサインターフェースに適したJFET-CMOS混載型低雑音増幅器の形成
- インテリジェントヒューマンセンシングチップ (特集 ユビキタス生体計測)
- シリコン光検出系を一体化した高分解能吸光光度測定チップ
- シリコン光検出系を一体化した高分解能吸光光度測定チップ(アナログ・ディジアナ・センサ,通信用LSI)
- 信号処理回路を集積化したヘモグロビン量測定マイクロチップ
- 光多重反射を用いたシリコン集積化ヘモグロビン量センサの諸特性
- エピタキシャルγ-Al_2O_3/Si基板上のエピタキシャルPZT薄膜を利用した焦電型赤外線センサ
- エピタキシャルγAl_2O_3/Si基板上のエピタキシャルPZT薄膜を利用した焦電型赤外線センサ
- チョッパレス焦電型赤外線イメージセンサの検討
- チョッパレス焦電型赤外線イメージセンサの検討
- 11-7 チョッパレス焦電型赤外線イメージセンサの検討
- チョッパレス焦電型赤外線イメージセンサの提案
- チョッパレス焦電形赤外線イメージセンサの提案(イメージセンシング技術)
- 農業・畜産用マルチモーダルセンサ (特集 植物工場)
- Development of an integrated inductor for impedance matching on the fully integrated silicon smart microsensors (Electron devices: 第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007))
- Development of an integrated inductor for impedance matching on the fully integrated silicon smart microsensors (Silicon devices and materials: 第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007))
- Development of Radio Frequency Transmitters Including On-chip Antenna for Intelligent Human Sensing Systems
- 化学情報をノンラベルで画像化するイオンイメージセンサ
- APCOT 2006 Asia-Pacific Conference of Transducers and Micro-Nano Technology 報告
- 1-1情報センシング(映像情報メディア年報)
- Fabrication of temperature sensor using thermopile based on silicon on insulator (SOI) structure (Electron devices: 第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007))
- Fabrication of temperature sensor using thermopile based on silicon on insulator (SOI) structure (Silicon devices and materials: 第15回先端半導体デバイスの基礎と応用に関するアジア・太平洋ワークショップ(AWAD2007))
- 光学フィルタを必要としない蛍光検出フォトセンサの試作・評価(アナログ・デジアナ・センサ, 通信用LSI)
- 集積回路との一体化を目指したマルチチャンネルSiマイクロプローブ神経電位センサ(アナログ・デジアナ・センサ, 通信用LSI)
- Siナノ構造における電界集中とトンネル電流
- Siナノ構造における電界集中とトンネル電流
- Realization of n-type and p-type Si-Microprobe Array Using In-Situ Doping with Selective Vapor-Liquid-Solid (VLS) Growth Method
- APS 構造を用いたアモルファスシリコン系アバランシェ増倍型光電変換膜の蓄積動作特性
- a-Siアバランシェ増幅型光電変換膜積層型イメージセンサのCMOS読み出し回路の検討(映像入出力および一般)
- a-Siアバランシェ増幅型光電変換膜積層型イメージセンサのCMOS読み出し回路の検討
- n型多結晶シリコン膜上へのアモルファスシリコン系pinフォトダイオードの製作
- n型多結晶シリコン膜上へのアモルファスシリコン系pinフォトダイオードの製作
- 24-3 ポリシリコン膜上へのアモルファスシリコン系pinフォトダイオードの製作
- C-12-23 JFET混載CMOS技術を用いた演算増幅器の低雑音化手法(C-12.集積回路C(アナログ))
- C-12-24 JFET 混載 CMOS 技術を用いたセンサ用低雑音増幅回路
- 電界放出微小電子源型高感度光センサの広ダイナミックレンジ化(■固体撮像とその関連技術)
- バンドオフセットを持つa-Si:H系傾斜薄膜を用いたアバランシェ増幅型光センサ
- 12-4 5ミクロン以上の赤外光を検出可能な電子放出デバイスの研究