T0301-1-3 エレクトロマイグレーションによるスプリット型アルミマイクロチューブの創製([T0301-1]金属ナノ材料の創製と展開(1))
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概要
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The growth of electromigration induced Al split micro-tubes in passivated aluminum films was investigated. The sample was a polycrystalline Al line covered by a passivation layer. A slit and a hole were introduced at the anode end by wet etching and focused ion beam technique, respectively. Al atoms could be accumulated to cause a compressive stress after we started to supply a direct current. The split micro-tube grew with the increase of the current supply time to release the stress. It is found that the roots of discharge holes play a key factor in the growth process. The root up to the Al/TiN interface was able to effectively release the compressive stress.
- 2010-09-04
著者
-
坂 真澄
東北大
-
坂 真澄
東北大学大学院
-
坂 真澄
東北大学大学院工学研究科
-
Saka Masumi
Department Of Machine Intelligence & Systems Engineering Graduate School Of Engineering Tohoku U
-
鹿 業波
東北大院
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