23aXB-3 Si表面上におけるRuの拡散と表面構造の観察(23aXB 表面界面構造,領域9(表面・界面,結晶成長))

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2008-08-25

著者

• 首藤 健一

  横国大工

• 大野 真也

  横国大工

• 河村 紀一

  NHK放送技研

• 大野 真也

  横浜国立大学工学部知能物理工学科

• 首藤 健一

  横浜国立大学工学部知能物理工学科

• 寅丸 雅光

  横浜国立大学工学府

• 小林 直人

  横浜国立大工

• 宮本 泰敬

  NHK技研

• 河村 紀一

  NHK技研

• 宮本 泰敬

  東工大

• 大野 真也

  横浜国立大学大学院工学府物理情報工学

• 宮本 泰敬

  NHK

• 首藤 健一

  横浜国立大学工学部

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