26pPSB-24 穏和な表面窒化のための低速イオン源の製作(26pPSB 領域9ポスターセッション,領域9(表面・界面,結晶成長))

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概要

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• 2012-03-05

著者

• 中辻 寛

  東大物性研

• 小森 文夫

  東大物性研

• 飯盛 拓嗣

  東大物性研

• 河村 紀一

  NHK放送技研

• 山田 正理

  東大物性研

• 河村 紀一

  東大物性研:NHK技研

• 中辻 寛

  東工大院理工

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