21010 大型・軽量化除振台における多入力多出力系フィードフォワード制御(実システムのモデリングと制御(3):アクティブ除振,OS2 実システムのモデリングと制御)
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概要
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This paper proposes a design method of a three dimensional isolation system with a low stiffness isolation table assumed as large-size and lightweight isolation system. In large-size and lightweight isolation table, multi vibration modes appear on an isolation table in lower frequency region. Owing to this, we construct the 5-DOF lumped mass model using a reduced order physical modeling method, which is effective for controlling multi modes vibration in the vertical direction. In controller design, two-degree-of-freedom controller combining feedback controller with feedforward one is designed. In this paper, effectiveness of the feedforward control with multiple inputs on the isolation performance is demonstrated.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-03-09
著者
-
渡辺 亨
日大理工学部
-
吉田 和夫
慶應義塾大学理工学部システムデザイン工学科
-
背戸 一登
日大
-
渡辺 大地
日本大学
-
渡辺 亨
日大
-
福原 一樹
日大・学部
-
渡辺 大地
日大院
-
成毛 正彦
横河電機
-
背戸 一登
Svcl
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