206205 弾性搭載物・除振台システムの低次元化物理モデル作成法を用いたモデリングと制御(一般02 機械力学・制御工学5)
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概要
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In precise active vibration isolation table, the dynamics of loads of the table often affects on the performance of the isolation table. The aim of this research is to improve the vibration isolation performance by using a controller designed with consideration for the dynamics of load. An experimental active isolation table with an elastic load is built as a control object. The dynamical behavior of the table with load is identified through FEM analysis and experimental model analysis. According to these results, three-degree-of-freedom model is specified and its property is compared with experimental results. The LQ optimal control theory is applied to the specified model and a feedback controller taking the dynamics of the table and the elastic load into consideration is obtained. Computer simulation to evaluate the performance of the controller is carried out and the controller showed good performance.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-03-17
著者
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