Surface Integrity of Thick Photo Resist Finished by Ultra-Precision Diamond Cutting(Ultra-precision machining)
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概要
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This paper deals with an experimental study on ultra-precision diamond cutting of photo resist. A good surface flatness of photo resist is needed to make three-dimensional micro structure by multi-layer LIGA-like process. In this study, an ultra-precision cutting technology is applied to UV lithography process in order to fabricate a flat structure of thick photo resist. The direct cutting of thick photo resist by diamond cutting tool was attempted before and after UV exposure. The surface integrity and the flatness of micro pattern were estimated. In result, the variation of steps was 2μm or less, while it was 130μm or more in the case that the diamond cutting was not applied. The roughness of finished surface by cutting was 0.01μm in arithmetic average roughness Ra.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2005-10-18
著者
-
内海 裕一
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
-
Utsumi Yuichi
Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry, University of Hyogo
-
OKUDA Koichi
Graduate School of Engineering, University of Hyogo
-
NAKAGAWA Shusaku
Graduate School of Engineering, University of Hyogo
-
FUJIWARA Naoki
Graduate School of Engineering, University of Hyogo
-
SAKAI Nobuji
Toyo Gosei Co., Ltd., Photosensitive Materials Research Center
-
HATTORI Tadashi
Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry, University of Hyogo
-
内海 裕一
NTT基礎技術総合研究所
-
内海 裕一
兵庫県立大学
-
Okuda Koichi
Graduate School Of Engineering University Of Hyogo
-
Sakai Nobuji
Toyo Gosei Co. Ltd Chiba Jpn
-
Sakai Nobuji
Toyo Gosei Co. Ltd. Photosensitive Materials Research Center
-
Hattori Tadashi
Laboratory Of Advanced Science And Technology For Industry University Of Hyogo
-
Nakagawa Shusaku
Graduate School Of Engineering University Of Hyogo
-
Hattori Tadashi
Laboratory Of Advanced Science And Technology For Industry
-
Utsumi Yuichi
Laboratory Of Advanced Science And Technology For Industry
-
Utsumi Yuichi
Laboratory Of Advanced Science And Technology For Industry University Of Hyogo
-
Fujiwara Naoki
Graduate School Of Engineering University Of Hyogo
-
内海 裕一
兵庫県立大
-
HATTORI Tadashi
Laboratory of Advanced Science & Technology for Industry, University of Hyogo
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