5a-PS-5 シンクロトロン放射光照射によるSiO_2、Si_3N_4膜の脱離
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 社団法人日本物理学会の論文
- 1990-09-12
著者
-
内海 裕一
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
-
内海 裕一
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所
-
内海 裕一
Ntt Lsi研究所 加工技術研究部
-
赤沢 方省
NTT LSI研究所 加工技術研究部
-
高橋 淳一
NTT LSI研究所
-
宇理須 恒雄
NTT LSI研究所
-
宇理須 恒雄
総合研究大学院大学
関連論文
- 2 X線による固相グリシンの重合量子効率の増大(一般講演,第34回学術講演会講演要旨集)
- X線リソグラフィーにより作製した三次元交差型流路を持つ新規マイクロミキサー
- Enzyme-linked Immunosorbent Assay for Nonylphenol Using Antibody-Bound Microfluid Filters in Vertical Fluidic Operation(METHODS)
- 次世代3次元X線リソグラフィーの提案と高輝度液晶バックライトユニット導光板への応用
- Immunoassay Using Microfluid Filters Constructed by Deep X-Ray Lithography
- Novel Characteristics of Multifunctional Fluid Filters Fabricated by High-Energy Synchrotron Radiation Lithography
- Surface Integrity of Thick Photo Resist Finished by Ultra-Precision Diamond Cutting(Ultra-precision machining)
- Enhancement of Peel Strength at Interface between Spattered Films and Substrate Materials by Fast-Atom-Beam Irradiation(M^4 processes and micro-manufacturing for science)
- 紫外線を用いる微細構造形成技術
- A New Micro-Chemical Reactor Using Fluid Filters for Vertical Fluid Flow Operation
- 波長可変型大面積SR露光システム
- 2J11-3 積層型マイクロリアクターの試作と環境分析への応用(分析化学・物理化学・生物工学一般,一般講演)
- 放射光による大面積微細加工システム(OS10 次世代アクチュエータのマイクロ・ナノ加工)
- 放射光による大面積微細加工システム (特集 微細加工技術)
- 超高感度厚膜レジストの新規開発 (特集 微細加工技術)
- ニュースバルの到達点
- 放射光LIGAプロセスによるマイクロ金型の作製(放射光による応用加工技術の現状と将来)
- 放射光化学反応によるナノレベル・エピタキシャル成長(放射光による応用加工技術の現状と将来)
- 430 光強度分布X線マスクによる微細3次元加工の検討(OS 材料の超精密加工・マイクロ加工)
- 425 X線マスクの回転によるマイクロ構造体の傾斜面の形成(OS 材料の超精密加工・マイクロ加工)
- 強度分布制御によるSR 3次元加工の検討
- パルス励磁アモルファスワイヤ磁気インピーダンス素子を用いたコイル検出型磁界センサのノイズ特性評価
- 多機能フィルターを用いた垂直流体操作の挙動予測と検証
- 3 アミノ酸の化学進化に有効なエネルギーの探索(一般講演,第35回学術講演会講演要旨集)
- 1 模擬宇宙空間におけるX線誘起化学進化(一般講演,第34回学術講演会講演要旨集)
- 三次元微細構造担体を用いた高密度細胞培養 (特集/ナノマイクロ空間を用いたバイオセンシングデバイス)
- 2Ip25 ノニルフェニル基含有マイクロフィルターを用いた競合ELISA法によるノニルフェノールの高感度測定(バイオセンシング・分析化学,一般講演)
- 三次元微細構造担体を用いた高密度細胞培養
- マイクロキャピラリー集積構造を用いた小型高感度環境分析システムの開発
- 高エネルギー粒子線および光子による模擬星間物質からのアミノ酸前駆体の合成
- 放射光励起反応を用いたアミノ酸前駆体生成
- 埋め込み金属層基板を用いた赤外反射吸収分光法と放射光励起表面反応
- プレナーホール整流効果を用いた人工磁性体の非線形応答の検出
- 放射光直接エッチングによるテフロン導波管BPFの試作と評価
- C-2-74 放射光エッチングによるテフロン導波管BPFの試作(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
- C-2-46 放射光エッチングを利用したテフロン導波管の試作(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般講演)
- 放射光直接エッチングによるテフロンの加工とミリ波テフロン導波管への応用
- 放射光を用いたPTFE微細加工
- 放射光を利用したテフロンの直接加工とミリ波テフロン導波管の試作 : 1.5GeV放射光施設「ニュースバル」のビームラインBL2による(マイクロ波技術一般)
- 大面積SR-LIGAプロセス
- 特集に寄せて
- マイクロ流体デバイスの作製・実装方法(講座「ちょっとMEMS」第13回)
- 3次元ナノプロトタイピング法による多検体DNA解析チップの開発
- 弾性表面波を用いた新規微小液体ローターの作製と特性評価
- 放射光リソグラフィによるプロトタイピング技術とその応用(2) : 高輝度液晶バックライトユニット導光板への応用(講座「ちょっとMEMS」第12回)
- 放射光リソグラフィーによるプロトタイピング技術とその応用(1) : 波長可変型大面積リソグラフィー(講座「ちょっとMEMS」第11回)
- ニュースバルにおけるLIGAプロセスの現状
- 量子ビームが拓くナノ・バイオプロセシング : 特集号によせて
- LIGAプロセス : マイクロデバイスへの応用と今後の展望
- 弾性表面波を用いた高効率連続流体駆動アクチュエータ
- 表面増強ラマン散乱のための金ナノ粒子ナノバレー構造体の構築
- 表面増強ラマン散乱のための金ナノ粒子ナノバレー構造体の構築
- 放射光によるフッ素樹脂製多機能フィルターの作製とイムノアッセイチップへの応用
- 多機能フィルターを用いた垂直流体操作の挙動予測と検証
- 積層型マイクロリアクターを用いた酵素免疫測定法による生体物質測定系の開発
- 多機能パッシブ流体バルブの提案と垂直送液の制御
- C-2-43 空気領域ポストを用いたテフロン導波管十字ハイブリッドの試作(C-2.マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
- 放射光によるフッ素樹脂製多機能フィルターの作製とイムノアッセイチップへの応用
- 放射光励起Siエピタキシャル成長 (放射光応用技術)
- Si系材料の放射光励起エッチング (放射光応用技術)
- 三次元マイクロ流体ネットワークを用いた新規マイクロ分析システムの提案
- マイクロ構造体を用いた高密度3次元細胞培養法の提案
- ジシランによる放射光励起Siエピタキシャル成長
- 放射光励起Siエピタキシャル成長
- ジシランを用いた放射光励起ALEとCVD (放射光応用技術)
- 放射光照射による高融点金属酸化物の改質
- SOI基板を用いたプレーナー型パッチクランプバイオセンサーの製作
- 1B17-1 マイクロ流体フィルタを反応場とした積層型分析システムの構築と多検体分析への応用(醸造学,醸造工学/センサー・計測工学,ロボット工学/生体情報工学(バイオインフォマティクス),一般講演)
- 2D10-5 積層型マイクロリアクターの特性とその応用(センサー・計測工学・ロボット工学,ペプチド工学・プロテオーム,一般講演)
- 5a-PS-5 シンクロトロン放射光照射によるSiO_2、Si_3N_4膜の脱離
- 放射光--軟X線多層膜とその応用
- 三次元マイクロ流体ネットワークを用いた新規マイクロ分析システムの提案
- Large-Area X-ray Lithography System for LIGA Process Operating in Wide Energy Range of Synchrotron Radiation
- 弾性表面波を用いた高効率連続流体駆動アクチュエータ
- 固体表面物性がサポーティッドメンブレンの形成過程と構造に及ぼす影響
- シンクロトロン光による微細加工の現状とマイクロシステムへの応用
- ユビキタスデバイス実装技術研究会のご紹介(次世代のエレクトロニクス実装に向けた研究会活動の現状と今後)
- プレーナー方イオンチャネルバイオセンサーの開発と応用
- 埋め込み金属層基板を用いた赤外反射吸収分光(BML-IRRAS)によるSi表面反応の研究
- SiO_2表面へのアビジン単分子層作製と脂質膜形成への応用
- 放射光プロセスの特徴とナノバイオエレクトロニクスへの応用 (特集/放射光利用とナノテクノロジー)
- 分子による情報伝達 : 総研大生が開いた新分野
- Immunoassay Using Microfluid Filters Constructed by Deep X-Ray Lithography
- 多チャンネル神経細胞ネットワーク素子の開発
- 酸化物基板表面上の細胞膜モデルシステム : 支持平面脂質膜のダイナミクスと基板表面の影響
- S22-12 Japan Astrobiology Mars Project(JAMP)火星表面におけるメタン酸化菌探査 : MELOS生命探査SWG(口頭セッション22:惑星探査,口頭発表)
- 125 Japan Astrobiology Mars Project(JAMP) : 火星表面におけるメタン酸化菌探査(オーラルセッション3 内惑星・ハビタブルプラネット)
- 半導体精密マイクロ波装置による金属ナノ粒子生成過程のリアルタイムモニタリング
- ニオブ酸リチウムの延性モード切削に関する研究
- 集積化三次元マイクロ分析ディスクの全自動酵素免疫測定への応用
- CI-2-1 LIGAプロセスのデバイス応用(CI-2.ナノ加工技術の最新動向と次世代デバイスへの応用,依頼シンポジウム,ソサイエティ企画)
- 放射光直接エッチングによるテフロン導波管横断回路の設計と試作(マイクロ波論文(大学発))
- ポスト壁導波路を用いたチップサイズ連続マイクロ波照射構造