ジシランを用いた放射光励起ALEとCVD (放射光応用技術<特集>)

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概要

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• 電気通信協会の論文

著者

• 内海 裕一

  Ntt Lsi研究所 加工技術研究部

• 赤沢 方省

  NTT LSI研究所 加工技術研究部

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