内海 裕一 | Ntt Lsi研究所 加工技術研究部
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概要
関連著者
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内海 裕一
Ntt Lsi研究所 加工技術研究部
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赤沢 方省
NTT LSI研究所 加工技術研究部
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内海 裕一
兵庫県立大学高度産業科学技術研究所
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内海 裕一
NTT基礎技術総合研究所
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高橋 淳一
NTT
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斉藤 威
IAS
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内海 裕一
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
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小林 憲正
横浜国立大学大学院工学研究科
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斉藤 威
東大宇宙線研究所
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金子 竹男
横浜国立大学
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内海 裕一
兵庫県立大学
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小林 憲正
横浜国立大学(工)
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内海 裕一
兵庫県立大
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小林 憲正
横浜国立大学
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斉藤 威
東京大学宇宙線研究所
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金子 竹男
横浜国大院工
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吉田 聡
放医研
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小林 憲正
横浜国大院工
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吉田 聡
放射線医学総合研究所 比較環境影響
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増田 仁美
横浜国大院工
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高野 淑識
JAMSTEC
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小川 智也
横浜国大院工
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高橋 淳一
NTTマイクロシステム研
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高野 淑識
Ifree Jamstec
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高野 淑識
北海道大学大学院理学研究院自然史科学部門地球惑星システム科学講座
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小川 智也
横浜国立大学大学院工学研究院・工学府
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遠西 寿子
横浜国立大学大学院工学研究院・工学府
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斉藤 威
株式会社IAS総合研究所
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村松 康行
学習院大学理学部
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細川 照夫
NTT通信エネルギー研
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増田 仁美
横浜国立大学工学部
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高橋 淳一
NTT基礎技術総合研究所
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細川 照夫
NTT基礎技術総合研究所
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永瀬 雅夫
Nttlsi研究所
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村松 康行
学習院大学理学部化学科
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村松 康行
学習院大学史料館研究員
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永瀬 雅夫
NTT LSI研究所
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高橋 淳一
NTT LSI研究所
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宇理須 恒雄
NTT LSI研究所
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高橋 淳一
Nttマイクロシステムインテグレーション研究所
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宇理須 恒雄
総合研究大学院大学
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高橋 淳一
日本電信電話株式会社
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村松 康行
学習院大学
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吉田 聡
放射線医学総合研究所
著作論文
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- 放射光励起反応を用いたアミノ酸前駆体生成
- 放射光励起Siエピタキシャル成長 (放射光応用技術)
- Si系材料の放射光励起エッチング (放射光応用技術)
- ジシランによる放射光励起Siエピタキシャル成長
- 放射光励起Siエピタキシャル成長
- ジシランを用いた放射光励起ALEとCVD (放射光応用技術)
- 放射光照射による高融点金属酸化物の改質
- 5a-PS-5 シンクロトロン放射光照射によるSiO_2、Si_3N_4膜の脱離