放射光照射による高融点金属酸化物の改質

スポンサーリンク

概要

論文の詳細を見る
高融点金属酸化物薄膜及び高融点金属上の自然酸化膜に対して放射光照射実験を行った。酸化物薄膜として多結晶MoO_3を用い、照射によりMoO_2に組成が変化することを見いだした。さらにMo、W上の自然酸化膜は照射により実効的に除去されることを見いだした。これらは、いずれも放射光による膜内部からの酸素脱離の結果である。三酸化物のメタルー酸素ボンドが容易に切断されるのに対し、二酸化物のメタルー酸素ボンドは切断されにくいこと、また、自然酸化膜の還元過程に2つの過程があることから結合選択的な酸素脱離が起こっていることが判る。自然酸化物が実効的に除去された照射表面は、ジシランガスに対して活性になる。この性質は配線用金属表面のクリーニングプロセスへ適用可能である。
社団法人電子情報通信学会の論文
1993-04-22

著者

関連論文

もっと見る

スポンサーリンク