Oxidation of Si(001) Surfaces Studied by High-Resolution Rutherford Backscattering Spectroscopy
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 2000-07-30
著者
-
Kimura Kenji
Department of Engineering Science, Kyoto University
-
NAKAJIMA Kaoru
Department of Micro Engineering, Kyoto University
-
Okazaki Yasutaka
Department Of Engineering Physics And Mechanics Kyoto University
-
Nakajima Kensuke
Research Institute Of Electrical Communication Tohoku University
-
Nakajima Kaoru
Department Of Engineering Physics And Mechanics Kyoto University
-
Okazaki Y
Department Of Engineering Physics And Mechanics Kyoto University
-
Kimura K
Department Of Engineering Physics And Mechanics Kyoto University
-
Kimura Kenji
Deparment Of Engineering Science Kyoto University
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