酸化物超伝導体EuBa_2Cu_3O_<7-δ>用MgO基板に対するCeO_2バファ層の効果

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概要

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酸化物超伝導薄膜EBCOを基板に堆積させる際、格子整合性、誘電率などの点からMgO基板が良く用いられる。しかしながら、MgO基板上でさえ面内配向が完全に揃った薄膜は得られない。そこで我々はMgO基板にまずバッファ層としてCeO_2を堆積させることにより面内配向制御の可能性を考えた。本研究はその前段階としてまず、MgO基板へのCeO_2の最適堆積条件を明らかにし、作製したMgO＼CeO_2＼EBCO薄膜とMgO＼EBCO薄膜との超伝導特性の比較を行った。その結果、MgO＼EBCO薄膜の超伝導特性には僅かに及ばないもののかなり近い値に到達できた。今後更なる堆積条件の最適化により、更に高品質な薄膜作製が行えると考えられる。
社団法人電子情報通信学会の論文
2002-08-01

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