CeO_2バッファ層の熱処理によるEuBa_2Cu_3O_<7-δ>薄膜への影響(電子部品・材料,及び一般)
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概要
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マグネトロンスパッタリングによって作製したCeO_2薄膜は,膜厚を増加させると(<500Å),(111)ファセットを伴なった結晶粒が成長する.このようなファセットのあるCeO_2薄膜上に形成したEuBa_2Cu_3O_<7-δ>(EBCO)薄膜は,c軸配向から(103)配向に移行し,臨界温度(T_<ce>)は低下する.本研究では,CeO_2薄膜(2000Å)のファセットの影響を抑制するために,CeO_2薄膜のanneal及び第2バッファ層としてSm_2O_3の導入について検討した. CeO_2薄膜は,1000℃,3hのannealで表面は平坦になり,結晶性は改善したが,マイクロクラックが観察された.annealed CeO_2薄膜上に堆積したEBCO薄膜のT_<ce>は約84Kと低下した.そこで,annealed CeO_2薄膜上にSm_2O_3バッファ層(1000Å)を堆積させることによってマイクロクラックの影響は緩和され,EBCO薄膜はT_<ce>=90.1 K,77.3 Kにおいて臨界電流密度=5.5MA/cm^2 と高い値を示した.
- 2004-07-30
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