EuBa_2Cu_3O_<7-δ>薄膜用Sm_2O_3バッファ層の平坦化成長(電子部品・材料,及び一般)

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概要

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• R-Al_2O_3＼CeO_2上にRFマグネトロンスパッタ法によりバッファ層としてSm_2O_3をoff-center距離(D_<t-s>)を変化させて堆積させ、表面性状、結晶性を調べ、つぎに、R-Al_2O_3＼CeO_2＼Sm_2O_3上にEuBa_2Cu_3O_<7-δ>(EBCO)を堆積させ、表面性状、臨界温度(T_c)、臨界電流密度(J_c)についてその効果を調べた。D_<t-s>=50 mm のとき、十点平均面粗さ(R_z)が最も小さくなり、その上に堆積したEBCO薄膜の特性は下層のSm^2O_3のR_zに依存していた。また、T_cはD_<t-s>に依存することなくT_c=89.5 K以上を示し、J_cはD_<t-s>=50 mm のとき6.4×10^6 A/cm^2 と最も高い値を示した。

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 2004-07-30

著者

• 木村 豊

  NTT西日本大阪病院外科

• 木村 豊

  岩手大

• 道上 修

  岩手大

• 太田 靖之

  岩手大

• 木村 豊

  岩手大学工学部

• 菊地 新司

  岩手大学工学部

• 道上 修

  岩手大学工学部

• 太田 靖之

  岩手大学工学部

• 橋本 健男

  岩手大学工学部

• 菊地 新司

  岩手大学工学部 電気電子工学科

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