対向ターゲットマグネトロンスパッタ法による大面積SmBa_2Cu_3O_<7-δ>薄膜の作製に関する研究
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概要
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対向ターゲットマグネトロンスパッタ法(MSFT法)により作製した酸化物超伝導薄膜SmBa_2Cu_3O_<7-δ>(SBCO)の大型化について報告する。作製にはR-Al_2O_3/CeO_2基板を用い、Ar+O_2雰囲気中でターゲット間距離(D_<tt>)を変化させSBCOを堆積させる。ターゲット間距離と超伝導特性に影響を持つプラズマの状態は関係すると考えられ、膜厚分布、結晶性、超伝導特性を測定することによって大型の高品質膜を作製するにはD_<tt>と基板の高さ(H_<t-s>)が非常に重要であることが分かった。
- 2006-07-31
著者
-
木村 豊
NTT西日本大阪病院外科
-
木村 豊
岩手大
-
道上 修
岩手大
-
高橋 幸也
岩手大学工学部
-
武蔵 慎吾
岩手大学工学部
-
木村 豊
岩手大学工学部
-
菊地 新司
岩手大学工学部
-
道上 修
岩手大学工学部
-
菊地 新司
岩手大学工学部 電気電子工学科
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