厚膜Sm_2O_3バッファ層上に成長したEuBa_2Cu_3O_<7-δ>薄膜の超伝導特性
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概要
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R-Al_2O_3/CeO_2上にRFマグネトロンスパッタ法を用いてSm_2O_3を堆積させSm_2O_3バッファ層の表面性状、結晶性に対するガス圧と膜厚(t_<Sm>)依存性を調べた。2Paのガス圧では最も表面粗さが小さくなった。t_<Sm>=2000Åまでは円形のグレインが観察されたが、それよりも厚くするとSm_2O_3バッファ層の表面には竹状のグレインが観察された。Sm_2O_3バッファ層上にDCマグネトロンスパッタ法を用いてEuBa_2Cu_3O_<7-δ>(EBCO)を堆積させ、EBCO薄膜の表面性状、配向性、超伝導特性に対するt_<Sm>依存性を調べ、厚膜CeO_2バッファ層上EBCO薄膜と比較した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-07-31
著者
-
木村 豊
NTT西日本大阪病院外科
-
木村 豊
岩手大
-
道上 修
岩手大
-
太田 靖之
岩手大
-
木村 豊
岩手大学工学部
-
道上 修
岩手大学工学部
-
太田 靖之
岩手大学工学部
-
宇沼 裕也
岩手大学工学部電気電子工学科
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