Si/SiO_2系サブミクロン周期 3D フォトニック結晶の作製と観察

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概要

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サブミクロン周期 3次元構造は、放射のない微小光回路や自然放出光による損失のないレーザなどの実現の鍵となるフォトニック・バンドギャップ効果を持つ。これは、コヒーレント非線形光学、高密度フェイズド・アレイ光学、高密度 MIM トンネル接合などの次世代の光工学やエレクトロニクスにおいて重要な役割を果たす可能性を豊かに持っている。従来、横方向周期 4μm で4層積層したものが報告されている。今回、我々はプラズマプロセスを利用した信頼性、再現性の高い 3次元周期構造の作製方法を提案し、初めてサブミクロン周期の 3次元フォトニック結晶を〜20周期にわたって作製し、その透過光観察を行なった。
1997-08-13

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