アニールをしないSi:SiO_2スパッタ膜からの青色発光
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概要
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アニールをしないSi:SiO_2スパッタ膜において,ピークエネルギー3.10eV,半値全幅0.38eVをもつフォトルミネセンススペクトルを観測した.作製プロセスの改良によりピークの強度は従来のサンプルに比べて11.3倍に増強され,室温でも青色の発光を肉眼で確認できた.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-11-01
著者
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