感光性ポリシランを用いた低消費電力熱光学素子(光波センシング, 光波制御・検出, 光計測, ニューロ, 一般)
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概要
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低消費電力Mach-Zehnder型熱光学スイッチを安価に作製するために、低消費電力化の指針を見直し、そして導波路の簡便な作製法を検討した。指針の見直しとは、従来はコアを通る熱だけで消費電力を考えていたが、本稿はヒータに電力を供給する部材を通って逃げる熱も含め消費電力を考えたことである。その結果、ヒータ電極の引き回しだけで消費電力が顕著に下がることがわかった。導波路の簡便な製作法では、感光性ポリシランを用いた方法を述べる。それによればエッチングや埋め込み工程なしにMach-Zehnder型熱光学スイッチができる。試作したMach-Zehnder型熱光学スイッチは5mWで動作した。付録で、位相シフタの温度と消費電力の関係を述べている。
- 2005-02-11
著者
-
花泉 修
群馬大学大学院工学研究科
-
平谷 雄二
ものつくり大学 製造技能工芸学科
-
花泉 修
群馬大学 工学部 電気電子工学科
-
萩谷 吉樹
群馬大学 工学部 電気電子工学科
-
花泉 修
群馬大学 大学院工学研究科
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