スパッタリング法による希土類ドープTa_2O_5薄膜の作製とその発光特性の評価

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概要

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• 2011-12-09

著者

• 花泉 修

  群馬大学 大学院工学研究科

• 三浦 健太

  群馬大学 大学院工学研究科

• 新井 勇輝

  群馬大学 大学院工学研究科

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