三浦 健太 | 群馬大学 大学院工学研究科
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概要
関連著者
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花泉 修
群馬大学 大学院工学研究科
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三浦 健太
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群馬大学 大学院工学研究科
著作論文
- 高周波スパッタリングによる紫外発光Si/SiO_2多層膜の作製
- フォトニック結晶構造の導入によるSi:SiO_2スパッタ膜の発光効率向上
- スパッタリング法による希土類ドープTa_2O_5薄膜の作製とその発光特性の評価