フラッシュEEPROMセルの新しいしきい値電圧分布測定方法
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概要
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フラッシュEEPROMセルの新しいしきい値電圧分布測定方法を考案した。この方式により大規模アレイのメモリセルしきい値電圧分布幅を容易に測定できる。今回製作した64Kセルアレイでは、この新規方式により従来のしきい値分布測定方法の評価時間の256分の1の時間で測定できる。また、新規回路を搭載したセルアレイはアドレス選択、負のしきい値電圧の測定ができ、メモリセルのしきい値電圧の挙動が調べられるため、メモリデバイスの開発に非常に有効な手法である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-05-24
著者
-
伊藤 寧夫
(株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所
-
伊藤 寧夫
(株)東芝セミコンダクター社
-
作井 康司
(株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所
-
姫野 敏彦
(株)東芝 半導体システム技術センター大船分室
-
神田 和重
(株)東芝 半導体システム技術センター大船分室
-
橋本 一彦
(株)東芝 半導体システム技術センター大船分室
-
宮本 順一
(株)東芝 半導体システム技術センター大船分室
-
間 博顕
(株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所
-
松川 尚弘
(株)東芝半導体事業本部半導体品質保証担当
-
押切 雅光
(株)東芝メモリ事業部
-
増田 和紀
(株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所
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宮本 順一
(株)東芝デバイス技術研究所
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神田 和重
株式会社東芝 セミコンダクター社 マイクロエレクトロニクス技術研究所
-
作井 康司
株式会社東芝 セミコンダクター社 マイクロエレクトロニクス技術研究所
-
間 博顕
(株)東芝 セミコンダクター社
-
姫野 敏彦
株式会社東芝 セミコンダクター社 マイクロエレクトロニクス技術研究所
-
増田 和紀
(株)東芝セミコンダクタ社
-
橋本 一彦
(株)東芝マイクロエレクトロニクス技術研究所
-
橋本 一彦
(株)東芝 セミコンダクター社 技術企画部
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