超格子光ガイド層を用いたZnMgSSe系レーザの室温発振
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概要
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ZnMgSSe系青緑色レーザの信頼性向上を目指し、オーミック電極の改善と結晶の欠陥密度の低減について検討した。p型ZnTeに対するオーミック電極として、Au/Pt/Ti/Ni電極を開発し、ρc=1×10^<-6>Ωcm^2という低い比接触抵抗を得た。ZnSe-ZnTe超格子キャップ層において、ZnTe層からの窒素の拡散によりキャップ層が高抵抗化することを見い出した。光ガイド層にZnCdSSe-ZnSSe歪超格子構造を導入することにより、光閉じ込め係数を向上させ、活性層領域の結晶欠陥を抑制した。これらの結果をもとに、ZnMgSSe系レーザ構造を作製し、室温パルス発振を得た。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-05-26
著者
-
後藤 順
日立中研
-
中塚 慎一
日立製作所中央研究所
-
望月 和浩
(株)日立製作所 中央研究所
-
大家 彰
日立製作所中央研究所
-
百瀬 正之
日立製作所中央研究所
-
河田 雅彦
日立製作所中央研究所
-
後藤 順
日立製作所中央研究所
-
望月 和浩
日立製作所中央研究所
-
右田 雅人
日立製作所中央研究所
-
矢野 振一郎
日立製作所中央研究所
-
矢野 振一郎
(株)日立製作所中央研究所
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中塚 慎一
日立中研
-
百瀬 正之
日立中研
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大家 彰
日立中研
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右田 雅人
日立製作所
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大家 彰
日立製作所 中央研究所
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望月 和浩
日立製作所
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