多チャンネル導波路型受光素子アレイ
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
導波路型PIN受光素子は, 高速, 高感度, 低暗電流などの数々の特徴があるが, 導波路を内包しているために光の漏れが少なくクロストークが小さい, また実装が容易であるという特徴のため, 多チャンネルのアレイ型受光素子として期待されている. 本研究では, 導波路型PIN受光素子の8チャンネルアレイを試作し, 感度, 暗電流, 帯域, クロストークなどを調べた. また更なる多チャンネルを目指して, 60chのアレイを試作して評価した. 試作した受光アレイは1.3μm光に対して感度は分散シフトファイバーに対して0.98A/W, クロストークは-75dBc以下, 暗電流は300pA以下(逆バイアス3V印加時)であった. また4500時間までの信頼性試験も良好であった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1997-07-04
著者
-
野村 剛彦
次世代パワーデバイス技術研究組合
-
野村 剛彦
古河電工横浜研究所半導体研究開発センター
-
野村 剛彦
古河電気工業株式会社横浜研究所
-
西片 一昭
古河電工(株) 横浜研究所
-
入野 聡
古河電工(株) 横浜研究所
-
平岩 浩二
古河電工(株) 横浜研究所
-
山中 信光
古河電工(株) 横浜研究所
-
岩井 則広
古河電工(株) 横浜研究所
-
野村 剛彦
古河電工(株) 横浜研究所
-
粕川 秋彦
古河電工(株) 横浜研究所
-
岩瀬 正幸
古河電工(株)光技術研究所
-
粕川 秋彦
古河電気工業(株)横浜研究所 半導体研究開発センター
-
粕川 秋彦
古河電工
-
入野 聡
古河電工(株)横浜研究所:豊橋技術科学大学工学部
-
平岩 浩二
古河電気工業(株)半導体研究開発センター
-
西片 一昭
古河電工横浜研究所半導体研究センター
-
山中 信光
古河電気工業株式会社横浜研究所
-
岩瀬 正幸
古河電気工業 ファイテルフォトニクス研
-
岩井 則広
古河電気工業(株)横浜研究所 半導体研究開発センター
関連論文
- 大電流動作GaN MOSFET(窒化物及び混晶半導体デバイス)
- 光バーストルータープロトタイプにおける40/10Gbpsビットレート無依存スイッチングおよび波長変換による衝突回避の実証(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般)
- GaNパワートランジスタの開発動向(パワーエレクトロニクスの課題と展望-ワイドバンドギャップ素子の可能性を含めて)
- 高出力AlGaN/GaN HFETの電源応用
- 光バーストルータープロトタイプにおける40/10Gbpsビットレート無依存スイッチングおよび波長変換による衝突回避の実証
- ノーマリオフ型GaN系RESURF-MOSFETにおける1500V/2A動作
- GaN系MOSFETのアンペアクラス250℃動作
- 25GHz間隔波長モニタ内蔵高出力、Full C-band波長可変DFBレーザモジュール(半導体レーザ及び光パッシブコンポネント, 及び一般)
- [招待講演]25GHz間隔波長モニタ内蔵高出力、Full C-band波長可変DFBレーザモジュール(半導体レーザ及び光パッシブコンポネント, 及び一般)
- C-3-113 3 分岐ビームスプリッタを用いた広帯域波長モニタの開発
- CS-9-5 Si基板上の高耐圧スイッチングGaNパワーデバイス開発(CS-9. ワイドギャップ半導体電子デバイスの現状と今後の展開,シンポジウムセッション)
- SC-6-5 波長ロッカー内蔵, 高出力 DFB レーザモジュール : 固定波長, 波長可変
- 高信頼性,波長ロッカ内蔵40mW,25GHz x 20ch narrow thermally tunable DFB laser module
- C-4-44 25GHz間隔波長モニタ内臓DFBレーザモジュール
- SC-2-9 50GHz間隔波長モニタ内蔵40mW CW DFBレーザモジュール
- アナログ受光モジュール用導波路型受光素子
- 多チャンネル導波路型受光素子アレイ
- 850nm酸化型VCSELにおける横モード制御および温度特性向上
- C-4-2 850nm酸化狭窄型VCSEL10Gbps変調特性
- 高信頼性,波長ロッカ内蔵40mW,25GHz×20ch narrow thermally tunable DFB laser module
- 高信頼性,波長ロッカ内蔵40mW,25GHz x 20ch narrow thermally tunable DFB laser module
- 光バーストルータープロトタイプにおける40/10Gbpsビットレート無依存スイッチングおよび波長変換による衝突回避の実証(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般)
- 光バーストルータープロトタイプにおける40/10Gbpsビットレート無依存スイッチングおよび波長変換による衝突回避の実証(フォトニックNW・デバイス,フォトニック結晶・ファイバとその応用,光集積回路,光導波路素子,光スイッチング,導波路解析,一般)
- 光バーストルータープロトタイプにおける40/10Gbpsビットレート無依存スイッチングおよび波長変換による衝突回避の実証
- 短共振器DBR型波長可変レーザモジュールの高速波長ロッカー制御(半導体レーザ関連技術,及び一般)
- 低消費電力・高効率1060nm面発光レーザ(半導体レーザ関連技術,及び一般)
- 長波長帯VCSELの開発
- 光ファイバアンプ用高出力半導体レ-ザ-
- SMファイバMT-RJ光トランシーバモジュール
- 導波路PDとトランスインピーダンスアンプを内蔵したSCレセプタクル型プラスチック受信モジュール
- モードフィールド変換レーザを有するプラスチックパッケージ型SCレセプタクル光モジュール
- 1.3μm帯GaInNAsSb/GaAs VCSELのKファクタの検証(量子効果デバイス(LD,光増幅,変調等)と集積化技術,一般)
- 1.3μm帯GaInNAsSb/GaAs VCSELのKファクタの検証(量子効果デバイス(LD,光増幅,変調等)と集積化技術,一般)
- SC-2-2 1300nm 帯 GaInNAsSb 系 VCSEL 及び 850nm 帯 10Gbps-VCSEL
- C-4-14 850nm VCSEL における 10Gbps 伝送の酸化アパーチャ依存性
- C-4-13 850nm 帯 VCSEL を用いた 12ch アレー
- 1300nm帯GaInAsSb VCSEL(半導体レーザ及び光パッシブコンポネント, 及び一般)
- [招待講演]1300nm帯GaInAsSb VCSEL(半導体レーザ及び光パッシブコンポネント, 及び一般)
- 980nm InGaP クラッドレーザに於けるビームステアリング現象
- フルCバンド波長可変DFB-LD搭載ITLAモジュールの開発(光部品・電子デバイス実装技術, 一般)
- フルCバンド波長可変DFB-LD搭載ITLAモジュールの開発(光部品・電子デバイス実装技術, 一般)
- フルCバンド波長可変DFB-LD搭載ITLAモジュールの開発(光部品・電子デバイス実装技術, 一般)
- フルCバンド波長可変DFB-LD搭載ITLAモジュールの開発(光部品・電子デバイス実装技術, 一般)
- C-4-13 Full C-band波長可変DFB-LD搭載ITLAモジュールの開発(C-4. レーザ・量子エレクトロニクス, エレクトロニクス1)
- 光インタコネクトにおけるスキューに関する考察
- GalnAsP/InP光減衰器集積導波路型受光素子
- GalnAsP/InP光減衰器集積導波路型受光素子
- 大電流動作GaN MOSFET(窒化物及び混晶半導体デバイス)
- 大電流動作GaN MOSFET(窒化物及び混晶半導体デバイス)
- C-4-31 電子冷却素子内蔵 Mini-DIL サイズ DFB LD モジュールの開発
- SC-3-7 MT-RJ Optical Sub Assemblyのクロストーク解析
- 多チャンネル導波路型受光素子アレイ
- 高効率,低暗電流導波路型受光素子
- 導波路型受光素子の実装許容度の構造依存性
- 導波路型受光素子の実装許容度の構造依存性
- 光ファイバアンプ用高出力半導体レーザー
- IFVD窓構造による9xx nm高出力半導体レーザ(半導体レーザ関連技術,及び一般)
- IFVD窓構造による9xx nm高出力半導体レーザ
- 半導体導波路によるモノリシック集積波長選択型波長可変光源におけるスペクトル線幅の狭線幅化(レーザ・量子エレクトロニクス)
- 光通信用長波長帯光半導体
- 3分岐ビームスプリッタ式波長モニター内蔵多ch可変レーザモジュールの開発(光集積回路/素子, スイッチング, PLC, ファイバ型デバイス, 導波路解析, 一般)
- 3分岐ビームスプリッタ式波長モニター内蔵多ch可変レーザモジュールの開発(光集積回路/素子, スイッチング, PLC, ファイバ型デバイス, 導波路解析, 一般)
- 3分岐ビームスプリッタ式波長モニター内蔵多ch可変レーザモジュールの開発(光集積回路/素子, スイッチング, PLC, ファイバ型デバイス, 導波路解析, 一般)
- 3分岐ビームスプリッタ式波長モニター内蔵多ch可変レーザモジュールの開発(光集積回路/素子, スイッチング, PLC, ファイバ型デバイス, 導波路解析, 一般)
- 波長可変光源の線幅特性の改善(半導体レーザ関連技術,及び一般)
- C-4-20 1.3μm高性能酸化膜狭窄(ACIS)レーザ
- 1.3μm帯InAsP系変調ドープレーザ
- 1.3μm帯InAsP系変調ドープレーザ
- C-4-13 狭出射ビームGaInAsPレーザとモニタ用ディテクタ集積素子の反射鏡最適化
- AllnAs選択酸化を用いたp型基板上の波長1.3μmレーザアレイ
- WDM用高出力CW-DFBレーザ : S,C,Lバンドにおける高出力CW-DFBレーザ(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎から応用,その他一般)
- IFVD窓構造による高出力高信頼性915nm半導体レーザ
- レーザー
- 直接接着法によるGaAs基板上の波長1.3μmレーザ
- 1.3μm帯 GaInAsP/InP 引張歪量子井戸レーザ
- TDR 反射鏡を用いた波長 1.3μm 高温特歪量子井戸レーザ
- 低閾値1.3μm帯GaInNAsSbレーザ
- 低閾値1.3μm帯GaInNAsSbレーザ
- 低閾値1.3μm帯GaInNAsSbレーザ
- 低閾値1.3μm帯GaInNAsSbレーザ
- n-InP/p-InP/MQW構造による量子井戸発光波長の短波長化
- n-InP/p-InP/MQW構造による量子井戸発光波長の短波長化
- n-InP/p-InP/MQW構造による量子井戸発光波長の短波長化
- n-InP/p-InP/MQW構造による量子井戸発光波長の短波長化
- ファイバーアンプ励起用高出力半導体レーザー
- 3-14 古河電工における歴史に残すべき技術 : 光ファイバと励起レーザ (3. 企業や研究機関等ごとの歴史に残すべき技術) (電子情報通信分野の歴史に残すべき技術 : 産業界を中心として)
- 光ファイバアンプ励起用半導体レーザ--ポンプレーザの最新技術 (特集 半導体レーザの最新動向)
- EDFA励起用高出力半導体レーザ
- TDR反射鏡を用いた波長1.3μm高温特歪量子井戸レーザ
- TDRミラ-を用いた高温度特性歪量子井戸レ-ザの開発
- MOCVD法による長波長帯GRIN-SCH-MQWレ-ザ
- 光通信用長波長半導体レ-ザの開発
- 光インターコネクション向け高信頼性1060nm帯面発光レーザにおける低電力損失特性(半導体レーザ関連技術,及び一般)
- Si基板上高出力GaN系電界効果トランジスタの開発
- Si基板上高破壊電圧ノーマリオフ AlGaN/GaN hybrid MOS-HFET
- 1060nm VCSELの高速変調動作と信頼性(半導体レーザ関連技術,及び一般)
- Si基板上ノーマリオフAlGaN/GaNハイブリッドMOS-HFETの高耐圧化
- Si基板上高破壊電圧ノーマリオフ AlGaN/GaN hybrid MOS-HFET
- C-4-17 1.55μm AlGaInAs埋込構造を有するDFBアレイ集積型波長可変光源(C-4.レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- 光インターコネクション向け1060nm帯面発光レーザー(VCSEL)における信頼性(光部品・電子デバイス実装技術・信頼性,及び一般)