デバイス帯電系ESD試験法比較(CDM法・小容量コンデンサー放電法)
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概要
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デバイス帯電系ESD試験において試験法の違い(CDM法と小容量コンデンサー放電法)および装置の方式の違い(放電スイッチ方式・ソケット使用の有無)に着眼し、放電波形・破壊耐量・故障モードの比較検討を実施した。その結果、以下のことが明らかとなった。1)試験法・装置の方式によって放電波形は異なるが、故障モードは変わらない。2)ゲート酸化膜破壊は試験法・装置の方式による破壊耐量差はほとんどない。3)小容量コンデンサー放電法はCDM法の代用試験として十分適用が可能である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-11-19
著者
-
松下 浩一
松下電器産業株式会社 半導体社 品質技術グループ
-
和田 哲明
松下電子工業(株)半導体事業本部品質技術部
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和田 哲明
松下電器産業
-
松下 浩一
松下電器産業
-
松下 浩一
松下電子工業(株)半導体事業本部品質技術部
-
前田 志
松下電子工業(株)
-
片岡 資晴
松下電子工業(株)
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和田 哲明
松下電子工業(株)
-
片岡 資晴
松下電器産業株式会社 半導体社 品質技術グループ
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