エレクトロマイグレーションの信頼性予測手法
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概要
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エレクトロマイグレーションは,金属配線に高密度の電流を長時間流すことによって生じる配線金属の原子移動現象である.実際のLSIの配線膜では,電流密度がおよそ10^5A/cm^2以上になるとエレクトロマイグレーションによる劣化が観察されはじめる.通常,配線のエレクトロマイグレーション試験はTEGを用いて,高温,高電流密度条件下で加速評価が行われる.しかし,評価時間の短縮のため加速条件を非常に高く設定した高加速評価を実施する例が少なくない.ここでは,一般的なエレクトロマイグレーション寿命予測手法と高加速評価において注意すべきいくつかの課題について種々の検討結果をもとに説明する.
- 日本信頼性学会の論文
- 2002-01-25
著者
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